电子级异丙醇

关键词

半导体制造是一个极其复杂且精密的过程，涉及数百道工序，对材料的纯度和性能有着近乎苛刻的要求。湿电子化学品作为半导体制造的 “工业血液”，其质检水平直接决定芯片良率，尤其在 7nm 以下先进制程中，需达到 G5 级甚至更高纯度标准，金属杂质含量低于 0.1ppt、纳米级颗粒数少于1个 /mL。

说到湿电子化学品就不得不提到电子级异丙醇。

电子级异丙醇（Electronic-Grade Isopropyl Alcohol，简称 EIPA）作为半导体制造中的 “多功能溶剂”，其核心价值在于高纯度、强兼容性、低残留，通过在清洗、光刻、脱水、剥离等关键工序的应用，保障晶圆的洁净度与图形精度，能直接影响精密电子元器件（如：芯片、液晶、磁头）的性能与良率。

半导体级 EIPA 与工业级异丙醇的核心差异在于 纯度控制 与 杂质限制 。

杂质问题

近年来半导体市场需求快速增长，对作为清洁剂使用的EIPA纯度要求也越来越高，不管是原料制造商还是下游用户入厂质检都有严格的品控,每一批次的EIPA都要经过几轮入厂质检才能投入使用。

在检测 EIPA 纯度时，由于电子级异丙醇对杂质含量要求极高，杂质浓度往往处于极低水平，这使得检测时产生的信号极其微弱，除此之外，在整个分析过程，对杂质控制的要求也非常高，避免在分析的任何一个环节引入新的杂质。

因此，质检中如何”放大杂质的检测信号”和”避免引入杂质”成为了质检中非常关键的一环。

TEGENT

Genevac Rocket Synergy2

产品介绍

Genevac Rocket Synergy2是一款专门为大体积样品浓缩的快速溶剂蒸发系统，在半导体应用中对大体积的EIPA进行浓缩，用以放大溶剂内的杂质信号。

作为Genevac溶剂蒸发系列产品中的明星产品，其主要有以下亮点：

1

Rocket Synergy2采用特殊的水蒸气加热方式，比普通加热方式要快5倍，其浓缩速度非常快；

2

可实现多样品的平行蒸发，可同时蒸发6×450ml烧瓶或18个ASE管，最大可处理5L；

3

样品自动转移：搭配SG套装，直接将浓缩后的微量样品收集到GC进样小瓶中，避免二次转移，避免转移带入新的杂质干扰结果，保证样品的完整性，使得后续进入分析设备检测出更准确的数据；

4

采用Dri-pure技术防爆沸，防止交叉污染；

5

自动停机功能，当样品干燥完成后，蒸发自动停止，无需人员值守。

如果想了解上述产品更多性能参数，可随时联系德祥科技拨打热线400-006-9696，或点击下方链接填写表单咨询。

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Genevac

ATS集团是德祥集团资深合作伙伴之一。英国Genevac公司成立于1990年，隶属ATS SP Scientific旗下，一直专注于研究和生产各种离心蒸发浓缩设备，其产品广泛应用于生命科学、制药、化学、分析等领域。

德祥科技

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