Lauda Hydro 系列恒温水浴槽
Lauda Alpha 加热制冷恒温器
Lauda ECO加热制冷恒温浴槽
Lauda PRO 加热恒温器
Lauda PRO 制冷恒温器
Lauda 新一代Integral T过程恒温器
Lauda 新一代Integral XT 高性能工艺过程恒温器
Lauda Microcool冷却水循环器
Lauda Variocool冷却水循环器
Lauda Ultracool UC Mini冷却水循环器
英诺德 INNOTEG TCS-2 加热制冷恒温器
英诺德 INNOTEG TCS-3 实验室制冷循环器
LAUDA Integral P过程恒温器
Lauda Proline Kryomate落地式制冷恒温器
Lauda Proline 校准恒温器
Lauda LOOP 恒温循环器
Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器
Lauda ECO 浸入式控制器
Lauda Kryoheater Selecta 工艺过程恒温器
Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器
LAUDA Semistat热电过程恒温器适用于 -20 至 90 °C 的半导体行业，
热电温度控制系统LAUDA Semistat为等离子刻蚀工艺提供稳定的可重复性的温度控制。系统动态地控制静电卡盘(ESC)的温度并可以用在刻蚀工艺中。LAUDA Semistat 热电温度控制系统设计的基础是基于帕尔帖原理的温度转换， 这些原件可以实现快速地温度控制，满足了当今元器件生产尺寸越来越小的要求。
与基于压缩机的系统相比，热点在线使用 Semistat 温度控制系统，降低能耗多达 90 %。可安装在使用地点的地下，非常节省空间，这样尽可能减少无尘室的使用。将过程温度曲线控制在 ±0.1 K，从而提高晶圆间均质性。
产品型号：S 1200/ S 2400/ S 4400
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Lauda Semistat 半导体专用工艺过程恒温器
